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無(wú)塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)的發(fā)展及工業(yè)技術(shù)的升級(jí)換代，對(duì)于無(wú)塵清潔生產(chǎn)及其環(huán)境的要求越來(lái)越高，比如無(wú)塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨，室內(nèi)空氣含塵量盡量的低，有很多無(wú)塵車間凈化廠房，還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產(chǎn)凈化廠房對(duì)室內(nèi)凈化程度要求外，很多科研、教學(xué)、實(shí)驗(yàn)、醫(yī)院也對(duì)室內(nèi)空氣凈化程度有很高要求。
無(wú)塵室有五個(gè)特性：
（l）耐久性；無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。（2）成本；（3）適應(yīng)性；（4）可維護(hù)性；（5）清洗；在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過(guò)性1病毒或細(xì)菌的污染之特性。
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