光學微電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。是將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
隨著現(xiàn)代化生產的發(fā)展及工業(yè)技術的升級換代,對于無塵清潔生產及其環(huán)境的要求越來越高,比如無塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨,室內空氣含塵量盡量的低,有很多無塵車間凈化廠房,還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產凈化廠房對室內凈化程度要求外,很多科研、教學、實驗、醫(yī)院也對室內空氣凈化程度有很高要求。
根據(jù)美國施行的規(guī)范,可將無塵車間分成六級。各自是一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級:一級≥百級≥萬級≥千級≥十萬級≥上百1萬級。越排前,級別越高,一級是級別1大的。普遍的是百級到十萬級。一級的無塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學工業(yè),對集成電路芯片的精準規(guī)定為亞μm。十級的無塵車間主要用于網(wǎng)絡帶寬低于2μm的半導體材料工業(yè)。百級是常見的。因而是關鍵的無塵車間,大家經(jīng)常不正確地將百級凈化室稱之為無菌車間,以表明“無菌檢測”的或“潔凈”的自然環(huán)境規(guī)定,百級潔凈室可用于藥業(yè)工業(yè)的無菌檢測制造加工工藝等,這一凈化室很多應用于,植如身體物件的制造,手術,包含移植術,集成器的制造,這些對細菌1性1感1染比較敏感的患者的防護醫(yī)1治,例如像骨1髓移植患者手術后的防護醫(yī)1治。千級的無塵車間主要用于電子光學商品的生產制造,還用于檢測,裝配線飛機場蛇螺儀,裝配線微型軸承等。千級無塵車間用于液壓機械或標準氣壓機器設備的裝配線,一些狀況下也用于食品工業(yè)工業(yè),除此之外,千級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常見。十萬級無塵車間用于許多的工業(yè)單位,例如電子光學商品的制造,用于較小的電子器件制造大中型的電子技術,液壓機或標準氣壓系統(tǒng)軟件的制造,食品工業(yè)的生產制造,醫(yī)1藥工業(yè)也經(jīng)常應用這一級無塵車間。